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      德國aixACCT激光干涉儀

      aixACCT是您在材料開發(fā)和設(shè)備鑒定方面進(jìn)行電氣測試的合作伙伴,并通過提供新的測試概念和系統(tǒng)解決方案縮短了客戶新產(chǎn)品的上市時間。產(chǎn)品通過不斷創(chuàng)新,涵蓋從材料研究到原型測試以及生產(chǎn)過程中的質(zhì)量保證的整個范圍。多年來積累了豐富的設(shè)計開發(fā)經(jīng)驗以及技術(shù)知識,通過不斷地研究發(fā)展,為客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品及服務(wù)。

       

      產(chǎn)品范圍:

      德國aixACCT激光干涉儀、共振分析儀、放大器、傳感器、執(zhí)行器。

       

      主要型號:

      TF 3000、TF 2000 E、TF 1000

       

      相關(guān)產(chǎn)品介紹:

      雙光束激光干涉儀

      aixACCT Systems已將公認(rèn)的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進(jìn)行長達(dá)8英寸的晶圓表征。

      用于測量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過驗證的精度(x切割石英),max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點是單次測量的采集時間*為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法,測量速度提高了100倍。這使得**比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理,**了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類測量的主要障礙。

      測量:

      -機(jī)電大信號應(yīng)變和*化測量。

      -壓電小信號系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。

      -電氣和機(jī)電性能疲勞。

      aixDBLI系統(tǒng)的*特性能使其適用于6“晶片上的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))設(shè)備的壓電和電氣可靠性測試。該系統(tǒng)的出色分辨率和可重復(fù)性優(yōu)于2%,可大規(guī)模生產(chǎn)。整個裝置包括位于減振室內(nèi)的光學(xué)組件,TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。

      技術(shù)數(shù)據(jù):

      -解析度:1 pm經(jīng)過x-cut Quartz測試

      -位移/應(yīng)變測量:50 Hz-5 kHz

                     100 mV至10 V

       至25 V(可選)

      -壓電d 33系數(shù):

      偏壓  :(1 mHz至1 Hz)

               100 mV至10 V

               至25 V(可選)

      小信號:(1 kHz至10 kHz)

                100 mV至10 V

      -電致伸縮M 33:類似于d 33

      -C(V)測量:

      偏壓  :(1 mHz至1 Hz)

                100 mV至10 V

                至25 V(可選)

      小信號:(1 kHz至10 kHz)

                100 mV至10 V


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